Исследователи из компании Bosch стали изобретателями года в Европе
"Процесс Bosch" – революционная разработка в области микросистем
• Главный приз присуждается Еврокомиссией и Европейским патентным бюро
• Награда за разработку инновационного процесса производства микро-схем
Андреа Урбан и Франц Лермер, два исследователя из группы Bosch, за-воевали титул «Европейский изобретатель года», присуждаемый Комис-сией ЕС и Европейским патентным бюро (EPO). Церемония награждения состоялась в Мюнхене при участии вице-президента Еврокомиссии Гюн-тера Ферхойгена и президента EPO Алена Помпиду. «Эта награда стала признанием выдающегося значения многих инноваций группы Bosch», – заявил заместитель председателя правления Bosch Зигфрид Дайс, от-вечающий за исследования и передовые разработки.
Этим почетным титулом награждаются изобретатели, чьи инновации внесли важный вклад в технический прогресс Европы и всего мира и способствовали укреплению экономического положения европейских стран. А. Урбан и Ф. Лермер разработали алгоритм, преобразивший про-изводство микромеханических компонентов (MEMS), без которых не су-ществовало бы таких технологий, как, например, автомобильные подуш-ки безопасности. Подобные компоненты используются также в электрон-ной системе предотвращения заносов ESP и в средствах защиты води-теля и пассажиров при опрокидывании автомобиля.
А. Урбан и Ф. Лермер разработали особый технологический процесс плазменного травления кремния, впервые сделавший рентабельным массовый выпуск датчиков современного типа. Без этой новой техноло-гии, известной под названием «процесс Bosch», сегодня немыслимо про-изводство микросистем – процесс используют почти все мировые произ-водители MEMS. Технология Bosch практически полностью заменила со-бой другие методики, в том числе влажное травление кремния в раство-ре калия.
Базовая технология была запатентована в 1992 г. и с тех пор постоянно развивалась и совершенствовалась. Сегодня с ней связаны около 40 па-тентных групп и более 350 отдельных патентов. Только предприятие Bosch в г. Ройтлинген выпускает по этой технологии более 130 млн дат-чиков в год. Все указывает на то, что объемы их производства будут продолжать расти, так как эти компоненты используются для все боль-шего числа задач. Помимо автомобилей, они работают, например, в мо-бильных телефонах, портативных компьютерах и игровых пультах. В этом году Bosch начинает строительство нового производства полупро-водников в г. Ройтлинген. Общий объем инвестиций в проект составит около 600 млн евро, а ввод фабрики в эксплуатацию запланирован на начало 2009 г.
Дополнительные расходы на НИОКР
Инновации – главный приоритет группы Bosch. В прошлом году расходы концерна на НИОКР достигли 3,3 млрд евро, что эквивалентно 7,7% от общего объема продаж (в 2005 г. – 7,4%). В научных исследованиях и новых разработках участвуют около 25300 сотрудников Bosch, из кото-рых более трехсот работают в проектах MEMS. В прошлом году число патентных заявок, поданных компанией, выросло на 9%, до 3056. 36% этих заявок связаны с защитой окружающей среды и экономией природ-ных ресурсов, а половина от этого числа направлена на дальнейшее со-кращение расхода топлива и выбросов CO2.
MEMS и «процесс Bosch»
Компания Bosch ведет исследования в области микроэлектромеханиче-ских систем (MEMS) начиная с 1988 г. и к настоящему времени зарегист-рировала уже более 350 патентов, связанных с этими компонентами. До сих пор продукты MEMS, выпускаемые Bosch, использовались прежде всего в автомобильной промышленности. Подобные микросхемы служат своего рода органами чувств автомобиля – к их числу относятся датчики таких систем, как ABS, ESP и подушки безопасности, а также электрон-ных блоков управления двигателем и систем помощи водителю. Некото-рые из таких датчиков, состоящих из нескольких микросхем, намного ус-тупают размерами человеческому ногтю. В каждом автомобиле среднего или высшего класса используются от 100 до 200 подобных элементов управления.
Массовое производство многих из этих микромеханических датчиков стало возможным только благодаря «процессу Bosch». Технология плазменного травления, разработанная в 1992 г., позволяет с высочайшей точностью и скоростью гравировать на кремниевых вафлях глубокие структуры с вертикальными стенками. До этого подобные микроструктуры могли создаваться только на металлической поверхности посредством дорогостоящего процесса LIGA (литография, гальванопластика и формовка). Однако для широкого промышленного использования эта технология была слишком сложной и дорогой. Процесс Bosch впервые позволил создавать аналогичные сверхсложные структуры в кремнии сравнительно простым и недорогим способом.
Стивен Д. Сенчурия, мировой эксперт по технологиям MEMS, профессор Массачусетского технологического института (Бостон) и автор монографии «Microsystem Design», пишет: «Процесс Bosch преобразил ход развития микромеханических процессов и систем». Современная технология выпуска микросистем немыслима без процесса Bosch – на нем базируются почти все производства MEMS в мире. Эта технология практически полностью заменила собой другие процессы, включая влажное травление кремния в растворе калия.
Пример компонента, выпускаемого по технологии MEMS – трехмерный универсальный датчик ускорения SMB 360, разработанный специально для потребительской электроники. Он используется в таких областях, как домашняя электроника, мобильные телефоны, а также системы безопасности и медицинское оборудование. Например, датчик может активировать радиосигнал тревоги, если человек падает или лежит без движе-ния или если похищается портативный компьютер. Помимо сенсорики ускорения, компания Bosch выпускает целый ряд датчиков давления и угловой скорости.
Только завод Bosch в г. Ройтлинген, где расположена штаб-квартира подразделения автомобильной электроники, производит более 130 млн датчиков в год. Поскольку спрос на них постоянно растет, в этом году компания начинает здесь строительство нового предприятия по выпуску полупроводниковых компонентов. Общий объем инвестиций составит около 600 млн евро, а ввод объекта в эксплуатацию запланирован на се-редину 2009 г. Новый завод будет выпускать до 1000 кремниевых ва-фель в день – этого объема достаточно для изготовления миллиона мик-росхем.
PI5823 – апрель 2007 г.
Исследователи из компании Bosch стали изобретателями года в Европе
http://www.bosch-presse.de/TBWebDB/bosch-ptj/modules/oragetblob.dll?db=TBWebDB&item=TBWebDB_image&id=3784,7&download=1-PE-14146.jpg
Андреа Урбан и Франц Лермер удостоены титула «Европейский изобретатель года» за разработку так называемого «процесса Bosch» – технологии плазменного травления, без которой сегодня немыслимо массовое производство микромеханических компонентов.
Фото: Европейская патентная служба
Исследователи из компании Bosch стали изобретателями года в Европе
http://www.bosch-presse.de/TBWebDB/bosch-ptj/modules/oragetblob.dll?db=TBWebDB&item=TBWebDB_image&id=3785,7&download=1-PE-14147.jpg
Андреа Урбан и Франц Лермер удостоены титула «Европейский изобретатель года» за разработку так называемого «процесса Bosch» – технологии плазменного травления, без которой сегодня немыслимо массовое производство микромеханических компонентов.
Фото: Европейская патентная служба
http://www.bosch-presse.de/TBWebDB/bosch-ptj/modules/oragetblob.dll?db=TBWebDB&item=TBWebDB_image&id=3783,7&download=1-AE-13629_2.jpg
Многие датчики Bosch меньше монеты в 1 евроцент, но способны спасти жизнь человека.
http://www.bosch-presse.de/TBWebDB/bosch-ptj/modules/oragetblob.dll?db=TBWebDB&item=TBWebDB_image&id=3781,7&download=1-RT-13633_2.jpg
Микросхемы Bosch выпускаются на фабрике в г. Ройтлинген в стерильных условиях.
http://www.bosch-presse.de/TBWebDB/bosch-ptj/modules/oragetblob.dll?db=TBWebDB&item=TBWebDB_image&id=3782,7&download=1-RT-13636_2.jpg
Так называемый «процесс Bosch» позволяет создавать тончайшие структуры на крем-ниевых пластинах. Эта революционная технология впервые сделала возможным массо-вое производство микромеханических компонентов.
Группа компаний Bosch является ведущим международным производителем автомо-бильного и промышленного оборудования, потребительских и бытовых изделий. Объ-ем продаж корпорации, штат которой насчитывает около 260 тысяч сотрудников, составил в 2006 финансовом году 43,7 млрд. евро. В состав группы Bosch входят Robert Bosch GmbH и более чем 300 дочерних компаний и филиалов в 50 странах мира. Bosch ежегодно выделяет более трёх миллиардов Евро на НИОКР и в 2006 г. зареги-стрировала более 3 000 патентов по всему миру. Компания была основана в 1886 году Робертом Бошем (1861–1942) в Штутгарте как «Мастерская точной механики и электротехники».
Особая учредительская структура Группы компаний Bosch гарантирует ее финансо-вую независимость и свободу предпринимательства. Она позволяет компании осуще-ствлять необходимые инвестиции, обеспечивающие ее будущее, а также выполнять все социальные обязательства. 92% акций Robert Bosch GmbH принадлежат благо-творительному фонду Robert Bosch Stiftung. Предпринимательская деятельность осуществляется компанией Robert Bosch Industrietreuhand KG.
Фото: Bosch
